ادعاهای درجه SEMI C28 برای اسید هیدروفلوئوریک بر اساس روش های آزمایشی است نه تجزیه و تحلیل – RawSource
دو قیمت برای اسید هیدروفلوئوریک 49 درصد روی یک میز قرار می گیرند. یکی می گوید درجه صنعتی و آنالیز چاپ می کند. دیگری می‌گوید درجه نیمه‌رسانا، SEMI C28 را نقل می‌کند و هر اثری از فلز را بر حسب بخش در میلیارد فهرست می‌کند. تنگ تر به نظر می رسد و شاید هم باشد. اما چنین محدودیت پایینی فقط به اندازه روشی است که می تواند آن را تشخیص دهد، و صفحات عمومی SEMI محدودیت درجه را برای مقایسه با آن چاپ نمی کنند.
قبل از مقایسه این دو، سند، ویرایش و روش های پشت هر عدد را پیدا کنید.
چه تفاوتی با گرید SEMI C28 با اسید هیدروفلوئوریک درجه صنعتی دارد؟
درجه SEMI C28 الزامات صنعت نیمه‌رسانا را با روش‌های آزمایش پشتیبانی می‌کند و SEMI C10 می‌گوید که حد تشخیص این روش برای آلاینده‌های ردیابی باید در حد یا کمتر از مشخصات آن باشد. اسید هیدروفلوئوریک درجه صنعتی در درجه اول با تجزیه و تحلیل خریداری می شود: O-H-795 (1953)، یک مشخصات فنی فدرال، 60٪ HF را زیر تایید شده توسط تیتراسیون مشخص می کند، و گریدهای 49٪ محدوده تجزیه و تحلیل خود را دارند.
مشخصات خرید دولتی نشان می دهد که چه درجه فنی اندازه گیری می شود. اسید هیدروفلوئوریک فنی با پوشش O-H-795 برای حذف شن و ماسه از ریخته گری فلز و برای حکاکی شیشه. آزمایشات او شیمی مرطوب در اجناس پلاتین بود: تیتراسیون هیدروکسید سدیم در دو نقطه پایانی برای اسیدیته کل و اسید هیدروفلوسیلیک، باقیمانده تبخیر برای اسید سولفوریک، و تیتراسیون ید برای اسید سولفوریک. MIL-A-24641A (1986) همان آستانه 60٪ و تیتراسیون یکسان را مشخص می کند، حرارت دادن به 176 درجه فارنهایت (80 درجه سانتیگراد) برای نقطه پایانی دوم.
برگه های معاملاتی نیز از همین الگو پیروی می کنند. مشخصات سازنده برای 49% شامل آنالیز با تیتراسیون، اسیدیته غیرفرار، دی اکسید گوگرد توسط یدمتری، و آرسنیک توسط ICP-AES است و برگه اطلاعات ایمنی سازنده برای اسید 49%، حکاکی فلز، حکاکی شیشه، مشتقات شیمیایی و اچ نیمه هادی را به عنوان موارد استفاده می کند. یک نیرو به چهار بازار خدمت می کند، بنابراین درجه، نه 49 درصد، خط اچ را از کارخانه ویفر جدا می کند.
برای تمیز کردن فلز، ترشی و تکمیل شیشه، دستور حمام بر اساس استحکام، آزمایش و چند ناخالصی اسیدی ساخته شده است. انتشارات مربوط به کاربردهای صنعتی اسید هیدروفلوئوریک و حکاکی و لعاب شیشه ای این حمام ها را پوشش می دهد. در یک ویفر، فلزات کمیاب نکته هستند. مطالعه‌ای در سال 1993 در مورد رسوب فلز از محلول‌های HF گزارش داد که فلزات رسوب‌شده در طول پردازش می‌توانند نشت ترکیب را افزایش داده و قدرت تجزیه اکسید را کاهش دهند، و یک انتشار در سال 2001 در مجله انجمن الکتروشیمیایی اشاره کرد که مس به راحتی بر روی سیلیکون از محلول‌های اچینگ مبتنی بر HF رسوب می‌کند.
پرس و جو برای اسید “بی آب 49٪” دو محصول مختلف را مشخص می کند: هیدروژن فلوراید بی آب (AHF) و اسید آبی 49٪. گزارش EPA در سال 1993 در مورد هیدروژن فلوراید اشاره کرد که محموله های ریلی و کامیونی در درجه اول HF بدون آب و 70٪ اسید آبی هستند. استاندارد موقت SEMI برای گاز HF بی آب، C3.43، در سال 1990 منتشر شد و در سال 2001 لغو شد. مقایسه 49٪ و 70٪ درجه اسید هیدروفلوئوریک هر دو غلظت آبی را پوشش می دهد.
SEMI C28 چه چیزی را پوشش می دهد و چه چیزی را به سایر اسناد واگذار می کند؟
SEMI C28، مشخصات و راهنمای اسید هیدروفلوئوریک، الزامات مورد نیاز اسید هیدروفلوئوریک مورد استفاده در صنعت نیمه هادی ها را با روش های آزمایش پشتیبانی می کند و دامنه آن درجات HF مورد استفاده در آنجا است. نسخه فعلی، C28-0618، دارای وضعیت غیرفعال در فروشگاه SEMI است، اما برای استفاده معتبر است. نقل قولی که می گوید “نمره SEMI” بدون مشخص کردن سند و نسخه، هر دو را باز می گذارد، بنابراین C28-0618 را با نام بخواهید.
تاریخچه تجدید نظر مراجع قدیمی را توضیح می دهد. C28 برای اولین بار با نام C28-0699 منتشر شد که جایگزین اسناد SEMI جداگانه C1.8، C7.3، C8.3، و C11.3، با بازنگری های فنی کدهای 0301، 0704، 0705، 0306، 0611، و 0618 (ماه و سال) شد. SEMI M33، یک روش آزمایش سطح ویفر که در سال 2007 لغو شد، هنوز C7.3 را به عنوان “اسید هیدروفلوریک استاندارد درجه 2” فهرست می کند. اگر یک مشخصات داخلی قدیمی به C7.3 اشاره کند، به یک سند جایگزین C28 اشاره می کند. مرجع را قبل از قرار دادن نقل قول در اطراف آن به روز کنید.
C28 تنها سند SEMI در شیمی حکاکی فلوراید نیست. همسایگان آن به طور جداگانه ذکر شده است:
| سند SEMI | چه چیزی را مشخص می کند | انتشار و وضعیت در فروشگاه SEMI |
|---|---|---|
| C28 | هیدروفلوریک اسید، گریدهای مورد استفاده در ساخت نیمه هادی ها | C28-0618، غیر فعال، معتبر برای استفاده |
| C29 | 4.9٪ اسید هیدروفلوئوریک (10:1 v/v)، به علاوه راهنمایی برای کلاس شناسایی شده در صورت نیاز | C29-0618، غیر فعال |
| PV11 | اسید هیدروفلوئوریک مورد استفاده در کاربردهای فتوولتائیک | PV11-1115 تأیید شده در 31 اوت 2015 |
| C23 | درجات اچانت اکسید بافر | C23-0714 (تأیید مجدد 0620)، فعلی |
| C20 | آمونیوم فلوراید 40 درصد، همه گریدها | C20-0213 (تأیید مجدد 1218)، غیر فعال، معتبر برای استفاده |
بنابراین، خط SEMI در پیشنهادی برای 4.9% (10:1) HF، HF با سلول های خورشیدی، یا اچ بافر به C29، PV11، یا C23 اشاره می کند، نه C28، و هیچ یک از این صفحات انتزاعی عمومی مرزهای درجه را چاپ نمی کنند. شماره SEMI همیشه درجه محصول نیست. SEMI F40، روشی برای آماده سازی اجزای توزیع کننده برای آزمایش های شیمیایی، اسید هیدروفلوئوریک 49٪ را به عنوان یکی از مواد شیمیایی آزمایشی خود فهرست می کند و SEMI M51، یک روش تست یکپارچگی اکسید، C28 را در بین استانداردهای مرجع خود ذکر می کند. همچنین مشخصات خرید اسید در پیشنهاد شما وجود ندارد.
چه روش های آزمایشی پشت ادعای کلاس SEMI وجود دارد؟
SEMI C1، کتابچه راهنمای تجزیه و تحلیل مواد شیمیایی مایع، بیان می‌کند که هر استاندارد شیمیایی مایع شامل دستورالعمل‌ها، مشخصات و روش‌های تحلیلی معتبر است، با رویه‌هایی که برای هر کلاس تعریف شده است تا حساسیت‌های آنها مطابق با الزامات آن کلاس باشد. از نظر C1، یک کلاس از مواد شیمیایی مایع (شماره‌های 1 تا 5) که با روش‌های مناسب تأیید شده‌اند، ممکن است به‌عنوان «مطابق با مشخصات SEMI» توصیف شوند. یک درجه و روش های آن با هم حرکت می کنند و یک قید بدون روش آن نیمی از ادعا است.
SEMI C10، در نسخه تایید شده در 25 آگوست 2014، یک تست حساسیت ارائه می دهد: هر آلاینده مرتبط با ردیابی مشخص شده در استاندارد شیمی فرآیند SEMI باید دارای حد تشخیص روش باشد که با رگرسیون منحنی کالیبراسیون برابر یا کمتر از مشخصات آن تعیین می شود. هر قسمت در هر میلیارد جدول را با این قانون بخوانید. محدودیتی که کمتر از حد تشخیص روش مورد استفاده تعیین شده است را نمی‌توان با آن روش تأیید کرد، و «تشخیص نشد» به معنای کمی است مگر اینکه حد تشخیص در کنار آن در گواهی تحلیل (CoA) باشد.
اثبات اعتبار شکل قابل تشخیصی دارد. در یک بولتن فنی سازنده در سال 2016، ICP-MS پلاسمای سرد روی 48 درصد HF رقیق نشده، 90 درصد تا 107 درصد از پیک 20 نانوگرم در لیتر در عناصر گزارش شده را بازیابی کرد. از هر کسی که CoA را امضا می کند، از آن نوع اثبات بخواهید که با اسید اندازه گیری می شود، نه آب، با حداکثر مقدار مجاز شما یا کمتر از آن و بر اساس جرم یکسان. پیک 20 نانوگرم در لیتر جرم در حجم است. بر حسب جرم، هنوز بالاتر از حد فلزی کلاس 3 برگه اطلاعات 0.01 قسمت در میلیارد است.
مرزهای ذرات نیاز به خواندن مشابه دارند. ISO 21501-2:2019 کالیبراسیون و تأیید شمارشگرهای ذرات مایع پراکنده نور، معمولاً 0.1 تا 10 میکرون را پوشش می دهد و خاطرنشان می کند که اندازه اندازه گیری شده معادل ذرات کالیبره شده در آب خالص است زیرا به ضریب شکست ذرات و محیط بستگی دارد. بنابراین تعداد ذرات موجود در اسید 49 درصد اندازه ای معادل کالیبراسیون است. برای شمارنده‌هایی که به اندازه‌های کوچک‌تر می‌رسند، SEMI C77 روش آزمایشی برای شمارش بازده است که در آن حداقل اندازه قابل تشخیص بین 30 نانومتر تا 100 نانومتر است.
استراتژی تراشه های 2022 NIST (NIST CHIPS 1000) مستقیماً به مشکل خریدار می پردازد. تأمین‌کنندگان مواد ممکن است در دقت اندازه‌گیری متفاوت باشند یا از روش‌های انطباق خود استفاده کنند، بنابراین تولیدکنندگان ممکن است از صحت روش‌های تأمین‌کننده مطمئن نباشند و نوعی گواهی یا اعتبار می‌تواند به اطمینان از منشأ و کیفیت ثابت کمک کند.
چگونه محدودیت های یک دیتاشیت کلاس نیمه هادی را می خوانید؟
یک برگه مشخص نشان می دهد که اعداد منتشر شده تا کجا پیش می روند. برگه اطلاعات درجه نیمه هادی 49٪ HF (PDF)، نسخه 1.0، بازبینی شده در 30-09-2026، سه درجه را فهرست می کند که هر کدام از 48.8 تا 49.2 درصد وزنی HF. آنها را به عنوان “کلاس نیمه هادی 1، 2 و 3” برچسب گذاری می کند و کلاس SEMI C28 را مشخص نمی کند، بنابراین شماره گذاری مختص صفحه داده است و نباید کلاس SEMI را بخواند. جدول آنها را علامت برگ می نامد.
| محدودیت در برگه اطلاعات | ورق کلاس 1 | ورق کلاس 2 | ورق کلاس 3 |
|---|---|---|---|
| HF (wt%) | 48.8 تا 49.2 | 48.8 تا 49.2 | 48.8 تا 49.2 |
| H2SiF6 (ppm) | ≤ 5 | ≤ 1 | ≤ 1 |
| Cl، NO3 و PO4، هر کدام (ppb) | ≤ 20 | ≤ 10 | ≤ 10 |
| SO4 (ppb) | ≤ 50 | ≤ 10 | ≤ 10 |
| هر فلز کمیاب ذکر شده، آلومینیوم تا زیرکونیوم (ppb) | ≤ 1 | ≤ 0.1 | ≤ 0.01 |
| ذرات ≥ 0.2 / 0.3 / 0.5 / 1.0 میکرون (pcs/mL) | ≤ 100/20/5/1 | ≤ 100/20/5/1 | هیچ داده ای در دسترس نیست |
| ذرات در ≥ 0.05 / 0.1 / 0.2 / 0.5 میکرون (pcs/mL) | هیچ داده ای در دسترس نیست | هیچ داده ای در دسترس نیست | ≤ 250/80/40/1 |
سه چیز در برگه داده وجود ندارد: مقادیر معمولی، روش های آزمایش و رتبه بندی SEMI. این فقط محدودیت‌های مشخصات را چاپ می‌کند و بیان می‌کند که مشخصات الزام‌آور آن‌هایی هستند که در گواهی تجزیه و تحلیل خاص لات و قرارداد فروش وجود دارد. خط بسته بندی آن خالص 235 کیلوگرم در بشکه های پلی اتیلن نو با ماندگاری 1 سال می باشد.
قانون C10 را به عنوان معیار ستون سمت راست قرض بگیرید، اگرچه برگه داده یک سند SEMI نیست. یک درجه ورق 3 هر فلز فهرست شده را تا 0.01 قسمت در میلیارد نگه می دارد، یک پله ده برابر پایین تر از درجه ورق 2، بنابراین هر روشی که در پس یک نتیجه فلزی در CoA وجود دارد، نیاز به یک حد تشخیص در یا کمتر از این رقم اندازه گیری شده در اسید 49٪ دارد. محدودیت ذرات کلاس 3 در برگه داده از 0.05 میکرون شروع می شود، زیر محدوده معمولی شرح داده شده در ISO 21501-2، بنابراین شمارنده و کالیبراسیون آن نیز متعلق به گواهی است.
ادعای طهارت کجا سنجیده می شود؟
فیگور خلوص نیز جایگاهی دارد. NIST خاطرنشان می کند که مواد از نقاط تماس در تولید، ذخیره سازی، حمل و نقل و تحویل که در آن آلاینده ها می توانند تولید یا اضافه شوند، عبور می کنند. نقشه راه بین‌المللی برای دستگاه‌ها و سیستم‌ها (IRDS) می‌گوید کنترل یون‌های فلزی از تامین‌کننده شروع می‌شود، اما این تماس با کانتینرهای حمل و نقل و تجهیزات تحویل ممکن است بسته به اینکه مرحله فرآیند چقدر حیاتی است نیاز به تصفیه اضافی داشته باشد. مطالعه رسوب‌گذاری در سال 1993 نیز همین کار را انجام داد: مواد شیمیایی خالص می‌توانند یون‌های فلزی را از طریق نگهداری یا نگهداری نامناسب جذب کنند.
ظرف هر چه باشد، ادعای ناخالصی کم اسیدی را که از آن نمونه برداری شده است، توصیف می کند. مس نشان می دهد که چرا آثار اهمیت دارند: در سال 1996 در مجله انجمن الکتروشیمیایی مطالعه سیلیکون 50:1 HF با مس 0 تا 100 ppb، مس ته نشین شده روی ویفر همراه با مس موجود در اسید افزایش یافت.
از سوی دیگر، SEMI F41 می گوید که سیستم های توزیع مواد شیمیایی انبوه معمولاً با آزمایش سطوح ذرات و فلزات ردیابی در برابر سطوح از پیش توافق شده واجد شرایط هستند. رکورد با یک گواهی تمیز از کارخانه شروع می شود. آن را تمام نمی کند
RFQ برای درجه نیمه هادی 49% HF چه نیازی دارد؟
-
سند و نسخه. SEMI C28-0618 برای اسید 49٪؛ C29 برای اسید 4.9٪ (10:1)، PV11 برای اسید PV و C23 برای اچ کردن اکسید بافر. هنگامی که یک برگه درجه SEMI را مشخص نمی کند، محدودیت های خود را برای سفارش بنویسید.
-
روش و حد تشخیص آنالیت. برای هر فلز و آنیون، روش و حد تشخیص آن، در یا کمتر از حد شما (قوانین SEMI C10 برای استانداردهای SEMI) تعیین شده در اسید، نه در آب، با حداکثر بازیابی در حد یا کمتر از حد شما بر اساس جرم یکسان.
-
اساس ذرات. شمارنده، کالیبراسیون آن بر اساس ISO 21501-2:2019 و کانال های اندازه گزارش شده، از آنجایی که رتبه بندی یک برگه را می توان بر اساس اندازه های مختلف مشخص کرد.
-
نقطه نمونه برداری جایی که نمونه CoA و شماره دسته هر گواهی بارگیری می شود.
-
تنوع دسته به دسته IRDS بیان می‌کند که تغییرات در خلوص می‌تواند در دستیابی به خلوص مطلق مهم باشد و اکثر تولیدکنندگان نیمه‌رسانا کنترل فرآیند آماری مانند محدودیت‌های 3 سیگما را برای سیالات فرآیند بحرانی اعمال می‌کنند، اما هیچ استانداردی در سطح صنعت این فرآیند را تعریف نمی‌کند. دستورالعمل های مدیریت کشتی SEMI C64 به عنوان غیرفعال فهرست شده است، بنابراین شرایط قرارداد را بپذیرید.
-
شرایط الزام آور CoA خاص و قرارداد فروش تنظیم شده است. مرزهای برگه داده جایی است که این مذاکره آغاز می شود.
روش‌شناسی: محدوده‌ها، نسخه‌ها و حالت‌های استاندارد از صفحات انتزاعی عمومی فروشگاه SEMI می‌آیند. محدودیت های درجه از برگه داده های فنی RawSource، نسخه 1.0. مراجع دولتی و عمومی: NIST CHIPS 1000 (2022)، O-H-795 (1953)، MIL-A-24641A (1986)، گزارش EPA 1993 در مورد هیدروژن فلوراید، EPA AP-42 (1993)، EU Bulk Inorganic Chemicals (207C) و Pudrogen Dohem. ضبط فلوراید (CID 14917)، از جمله HSDB.
منابع صنعت و ادبیات: IRDS، ISO 21501-2:2019، مطالعات بررسی شده در مورد رسوب فلز از محلول های HF بر روی سیلیکون (MRS، 1993؛ مجله انجمن الکتروشیمیایی، 1996 و 2001) و اسناد سازنده بدون نام: 49% داده های ایمنی و 69% داده IMS و IMS20. بولتن فنی
سوالات متداول
آیا اسید هیدروفلوئوریک صنعتی برای تمیز کردن فلز و تکمیل شیشه مناسب است؟
آیا چیزی به نام اسید هیدروفلوئوریک 49 درصد بدون آب وجود دارد؟
نه به عنوان یک محصول. غلظت آب به عنوان ترکیب بی آب شروع می شود: AP-42 EPA بیان می کند که HF در ستون های تقطیر با خلوص 99.98 درصد استخراج می شود و استحکام کمتر، معمولاً 70 تا 80 درصد، با رقیق شدن با آب به دست می آید. سند مرجع مواد شیمیایی معدنی انبوه اتحادیه اروپا گریدهای 85، 73، 60 و 40 درصدی را که از مخلوط کردن HF خالص با آب به دست می‌آیند فهرست می‌کند و یادآور می‌شود که HF درجه الکترونیکی به امکانات و آنالیزهای ویژه نیاز دارد.
اگر استاندارد به عنوان غیرفعال درج شده باشد، آیا تامین کننده می تواند ادعای SEMI C28 کند؟
SEMI C28-0618 را به‌عنوان غیرفعال اما برای استفاده معتبر فهرست می‌کند، بنابراین ممکن است همچنان به آن استناد شود، مشروط بر اینکه ادعا نام این نسخه را داشته باشد و لات نشان داده شود که مطابق با کلاس با روش‌های معتبر باشد. راهنمای عمومی SEMI برای تجزیه و تحلیل مواد شیمیایی مایع وضعیت بهتری دارد: فروشگاه SEMI SEMI C1-0310 (تأیید مجدد 0618) را به عنوان فعلی فهرست می کند. برای اچینگ اکسیدهای بافر، SEMI C23 روش‌های تست جایگزین را در صورتی که الزامات اعتبارسنجی روش C1 را برآورده کنند، اجازه می‌دهد، که برای هر آزمایشگاهی که بر خلاف درجه SEMI گزارش می‌دهد، یک آزمایش منصفانه است.
گواهینامه اسید هیدروفلوئوریک با خلوص بالا مخزن ISO چه چیزی را باید نشان دهد؟
اول اینکه نمونه از کجا گرفته شده است. IRDS نقطه تحویل را در درام، کیسه یا عرضه فله مواد شیمیایی و نقطه تحویل را در خروجی فیلتر نهایی واحد توزیع مواد شیمیایی قرار می دهد، بنابراین گواهی می تواند اسید را در هر دو انتها توصیف کند. IRDS همچنین خاطرنشان می کند که مواد شیمیایی تهاجمی نسبت به آب فوق خالص، فلزات بیشتری را شستشو می دهند، که تاکید بیشتری بر کیفیت و ماهیت مصالح ساختمانی در خدمات شیمیایی دارد. این کلاس از نیمه هادی ها فقط در بشکه های پلی اتیلن خالص 235 کیلوگرمی عرضه می شود.
آیا اسید هیدروفلوئوریک بی رنگ به معنای خلوص بالاست؟
خیر. PubChem اشاره می‌کند که محلول‌های رقیق اسید هیدروفلوئوریک به‌طور مشهودی از آب قابل تشخیص نیستند، و برگه اطلاعات نیمه‌رسانا اسید را بی‌رنگ و شفاف توصیف می‌کند. در عوض، رنگ به عنوان یک عدد در واحدهای APHA داده می شود: تا 10 برای ورق کلاس 1 و تا 5 برای ورق کلاس 2 و 3. رنگ چیزی در مورد فلزات کمیاب که برگه داده به طور جداگانه محدود می کند، نمی گوید.
منابع و روش شناسی
ارقام داده های منبع از RawSource هستند مگر اینکه به منبعی با نام نسبت داده شوند. استنادهای هنجاری در زمان انتشار جاری هستند. هویت های شیمیایی با شماره CAS در برابر کاتالوگ RawSource تأیید شده است.
دفتر تدارکات
منبع این شیمی به صورت عمده؟
بیش از 1300 ماده شیمیایی صنعتی را با نام یا CAS جستجو کنید، یا مشخصات خود را برای ما ارسال کنید – ما بر اساس درام، سطل یا ظرف نقل قول می کنیم.
فهرست شیمیایی را مرور کنید →
درخواست یک نقل قول
